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CY-SPC8-SS型勻膠機(jī)采用真空吸盤設(shè)計(jì)，可輕松快速地對直徑8英寸以內(nèi)的晶圓進(jìn)行溶膠-凝膠法涂覆。該設(shè)備搭載高精度電機(jī)，*高轉(zhuǎn)速達(dá)5000轉(zhuǎn)/分鐘，有效保障成膜均勻性。儀器采用觸摸屏控制，可預(yù)設(shè)涂覆曲線，極大簡化操作流程。
應(yīng)用領(lǐng)域：
可將液態(tài)或膠體材料涂覆于硅片、晶體、石英、陶瓷等基材形成薄膜，主要應(yīng)用于光刻膠旋涂、生物培養(yǎng)基制備、聚合物薄膜的溶膠-凝膠法制備等場景
技術(shù)參數(shù):
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產(chǎn)品名稱 |
全自動加熱旋涂儀 |
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型號 |
CY-SPC8-SS |
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電源 |
AC220V 50Hz |
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晶圓規(guī)格 |
*大值8英寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓 |
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腔室 |
腔體容量：5升 不銹鋼材質(zhì) |
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旋轉(zhuǎn) |
旋轉(zhuǎn)速度：0~5000轉(zhuǎn)/分鐘 加速度：100~5000轉(zhuǎn)/秒 速度分辨率：1轉(zhuǎn)/分鐘 程序：可存儲30條曲線，每條曲線100步 |
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自動出料 |
點(diǎn)膠臂 管路：三條管路及噴嘴 兼容粘性液體（1000-1500 cps） |
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手動出料 |
頂蓋可打開，方便手動點(diǎn)膠 |
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邊緣去除 |
管路：單條管路 流量范圍：5~50毫升/分鐘 液體流量監(jiān)測：浮球式流量計(jì)，帶流量報(bào)警 邊緣去除范圍：1~5毫米±0.3毫米 |
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背面清洗 |
管路：單條管路 流量范圍：20~200毫升/分鐘 液體流量監(jiān)測：浮球式流量計(jì)，帶流量報(bào)警 |
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加熱 |
加熱方式：紅外加熱 加熱溫度：≤150℃ 溫度控制方式：AIP智能溫控控制 |
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卡盤 |
晶圓固定方式：真空吸附式卡盤，適用于 8 英寸晶圓 卡盤材質(zhì)：鋁合金 |
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真空泵 |
無油泵 |
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操作方法 |
觸摸屏 |
